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INDUSTRIALIZATION COMPAN

華海清科股份有限公司


  天津華海清科機電科技有限公司是天津市政府與清華大學踐行“京津冀一體化”國家戰(zhàn)略,為推動我國化學機械拋光(CMP)技術和設備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。

  華海清科主要從事CMP設備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務,核心團隊成員來自清華大學摩擦學國家重點實驗室及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才,產(chǎn)品可廣泛應用于極大規(guī)模集成電路制造、封裝、微機電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領域。

  華海清科依靠國際化的經(jīng)營理念和人才團隊、先進的工藝試驗條件,致力于為相關領域的企業(yè)、高校和科研院所提供先進的CMP設備及工藝的集成解決方案,遵循“科技服務社會”的公司宗旨,持續(xù)進行以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務贏得國內(nèi)外用戶的信賴。

Universal-300 Plus

  Universal-300Plus 新型12英寸CMP設備,采用多種成熟的關鍵技術,具備技術水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定、以及多單元、多工藝靈活組合等優(yōu)點,可滿足不同客戶的工藝需求,具有強大的市場競爭力。

Universal-300 Dual

  Universal-300 Dual是根據(jù)市場需求, 擁有完全自主知識產(chǎn)權的新型12英寸CMP設備, 采用Universal-300 Plus的成熟技術, 集成多種終點檢測技術, 具備技術水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定、多工藝靈活組合等優(yōu)點, 可以極大地滿足不同客戶的工藝需求, 具有極強的市場競爭力。

Universal-300

  Universal-300是我國首臺進入大生產(chǎn)線的12”CMP設備,該機型技術含量高、性能穩(wěn)定,適用于集成電路制造、晶圓基片生產(chǎn)、CMP研磨材料研發(fā)和相關的科學研究。

Universal-200 Plus

  Universal-200 Plus是根據(jù)市場需求,擁有完全自主知識產(chǎn)權的新型8英寸C M P設備,采用Universal-300 Plus的成熟設計,集成多種終點檢測技術, 具備技術水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定、多清洗單元、多工藝靈活組合等優(yōu)點, 可以極大地滿足不同客戶的工藝需求, 具有極強的市場競爭力。

CMP工藝開發(fā)服務

  華海清科擁有自主研發(fā)的多系列高精密CMP拋光設備,擁有專業(yè)的技術團隊、精準的測量分析儀器,可接受企業(yè)和科研院所委托CMP工藝開發(fā)服務,為企業(yè)和科研院所提供CMP工藝解決方案,滿足其工藝指標要求。

 

CMP代工服務

  華海清科擁有自主研發(fā)的多系列高精密CMP拋光設備,擁有專業(yè)的技術團隊、完備的拋光加工車間和精準的測量分析儀器,可以精確測量金屬/非金屬的膜厚,粗糙度,Dishing, Erosion等??筛鶕?jù)客戶制程要求提供2英寸到-12英寸的定制化CMP代工服務。

 

CMP代工范圍包括:

1. Si/Oxide/W/Cu  Patter wafer CMP代工服務;

2. TSV CMP代工服務;

3. Wafer reclaim CMP代工服務;

4. MEMS、藍寶石、砷化鎵等不同材質(zhì)材料的CMP代工服務。

 

聯(lián)系方式

地址:天津市津南區(qū)咸水沽鎮(zhèn)海河科技園區(qū)聚興道9號,8號樓

電話:022-59781212

傳真:022-59781990

郵箱:sales@hwatsing.com

郵編:300350

網(wǎng)址:http://www.hwatsing.com